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DLC類金剛石涂層

DLC類金剛石涂層

   DLC(Diamond Like Carbon)涂層又叫類金剛石涂層,它是一種新型的硬質(zhì)潤(rùn)滑功能涂層材料,具有SP2和SP3電子軌道雜化的碳原子空間網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu),通常為非晶態(tài)或非晶-納米晶復(fù)合結(jié)構(gòu)。DLC涂層具有較高的硬度、優(yōu)異的減摩耐磨性能、高熱導(dǎo)率、低介電常數(shù)、寬帶隙、良好的光學(xué)透過(guò)性以及優(yōu)異的化學(xué)惰性和生物兼容性等,在航空航天、機(jī)械、電子、光學(xué)、裝飾外觀保護(hù)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。DLC涂層適合于磨損和滑動(dòng)的環(huán)境下,在沒(méi)有任何潤(rùn)滑介質(zhì)的條件下,可以降低摩擦損耗,可以用于汽車發(fā)動(dòng)機(jī)零部件(燃油噴射系統(tǒng)、動(dòng)力傳動(dòng)系統(tǒng))、軸承、滾輪、紡織機(jī)械、航空航天等眾多領(lǐng)域。
        DLC薄膜的制備方法有多種,目前常用的主要有物理氣相沉積(PVD)、化學(xué)氣相沉積(CVD)以及液相法等。我公司利用GIMS?氣體離子源增強(qiáng)磁控濺射技術(shù)制備DLC涂層,向GIS離子源中通入C2H2或CH4等含C氣體,GIS放電后分解和離化出C原子和H原子,制備DLC涂層,同時(shí)啟動(dòng)MS濺射靶,鍍制出摻雜Ti、Cr、W等金屬的Me-DLC涂層,DLC涂層硬度2500HV,摩擦系數(shù):0.1-0.2。
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